HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器介紹

2025-03-01 09:10

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器介紹

HORIBA MV-2000 系列液體汽化器，采用創(chuàng)新的螺旋流加熱技術(shù)，專為高精度化學氣相沉積和半導體制造領(lǐng)域設計。該系列產(chǎn)品能在低溫條件下實現(xiàn)穩(wěn)定的汽化，特別適合處理包括高介電常數(shù)（"High-k"）材料在內(nèi)的各種敏感化學液體。

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器主要特性

  • 螺旋流加熱技術(shù)：MV-2000 系列的核心技術(shù)特色之一，通過螺旋流動的加熱方式，確保加熱過程的均勻性和連續(xù)性，有效減少液體分解的風險，實現(xiàn)在較低溫度下的穩(wěn)定汽化。
  • 高流量汽化能力：該系列汽化器設計滿足大規(guī)模工業(yè)應用需求，提供高流量的汽化選項，以增強整體的工藝穩(wěn)定性。
  • 適用于易熱解的液體源：MV-2000 不僅適用于傳統(tǒng)的液體源，還能處理易于熱解的化學物質(zhì)，擴展了其在半導體制造中的應用范圍。

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器產(chǎn)品規(guī)格

  • 型號：MV-2000
  • 耐腐蝕材料：使用 SUS316L 和 PFA 材料，確保在處理具有侵蝕性的化學液體時的耐久性和安全性。
  • 密封性能：采用 VCR 接頭，提供嚴密的密封性能，有效防止任何外部污染。
  • 工作溫度范圍：15-50°C，可在廣泛的溫度范圍內(nèi)穩(wěn)定工作。
  • 最大壓力：1MPa（表壓），確保在高壓環(huán)境下的安全使用。

HORIBA MV-2000 系列混合注入系統(tǒng)液體汽化器應用領(lǐng)域

HORIBA MV-2000 系列液體汽化器適用于半導體制造、化學氣相沉積以及其他需要精準控制化學反應的高科技產(chǎn)業(yè)。此外，該設備的高適應性和可靠性使其成為涉及高介電材料處理的理想選擇。

HORIBA MV-2000 系列液體汽化器以其高效的性能和先進的技術(shù)，為化學氣相沉積和半導體制造行業(yè)提供了一種高效且可靠的解決方案，有效支持行業(yè)的技術(shù)進步和生產(chǎn)效率的提升。