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HORIBA質(zhì)量流量傳感器在半導(dǎo)體行業(yè)的應(yīng)用

【摘要】質(zhì)量流量控制器是一種可直接測量氣體的質(zhì) 量流量并進(jìn)行流量控制的設(shè)備。不因環(huán)境溫度和使用壓力等條件的變化而改變，可實(shí)現(xiàn) 精度且穩(wěn)定的流量控制，應(yīng)用于各種工業(yè) 領(lǐng)域。

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